青岛市志32：电子仪表工业志 第六篇 电子专用设备及材料 收藏本帖到:QQ书签|百度搜藏|Google书签|新浪ViVi|雅虎收藏|和讯网摘|POCO网摘|CSDN网摘|鲜果收藏 市志, 青岛, 仪表工业, 专用设备, 电子

第六篇　电子专用设备及电子材料  
第一章　电子专用设备

第一节　管氢气炉


　　1966年,青岛无线电专用设备厂采用北京700厂的全套图纸开始试制工作。经过3个多月的努力,试制成功第一台单管氢气炉,定型为L651511—4。经过北京774厂派出工程技术人员验收,达到设计要求,当年生产14台,揭开了青岛市生产无线电专用设备的历史。
　　单管氢气炉试制投放之后,又进行了几项重要的技术改进。增加了磁放大器励磁电流回零装置,以限制电流过大;增设齿轮传递开启机构,减轻了操作人员开动炉门的劳动强度。单管氢气炉的生产,不仅满足了国内用户的需要,还先后于1973年、1974年、1975年、1977年援助过朝鲜民主主义人民共和国、罗马尼亚和阿尔巴尼亚人民共和国。在援外过程中,还根据朝鲜民主主义人民共和国受援时,该国还没有氢气站、电流频率仅为60赫兹的实际情况,对磁放大器的线圈匝数重新作了设计,将加热钼丝改为不用氢气保护的镍铝丝,保证了援朝任务的圆满完成。1977年,在国家经委“援朝工程通报”上受到表扬。到1986年,青岛生产单管氢气炉已有20余年的历史,累计生产287台。

第六篇　电子专用设备及电子材料  
第一章　电子专用设备

第二节　高温扩散炉


　　1967年9月,青岛无线电专用设备厂在仅有一名无线电专业大学生、两名技术工人及一只万用仪表的条件下,试制成功第一台炉管口径为62毫米的高温扩散炉,定型为D051—32。
　　为提高控温精度的稳定性,生产更高水平的扩散炉,1968年,对D051—32型扩散炉进行了改进:将机械与电子混合式改为全电子管式,取消磁放大器,利用可控硅作功率放大,定型为D070—1。1970年,青岛无线电专用设备厂与上海仪表研究所合作,共同研制成功精密温控仪用于高温扩散炉,定型为CQW—70,为全国第一台高精度长温区扩散炉。CQW—70型扩散炉控温精度为±0.5C/24小时,恒温区长度600毫米/±1℃,达到当时日本扩散炉的水平。
　　由于“批林批孔”运动的严重干扰,扩散炉生产基本停顿。“文化大革命”后,扩散炉生产开始得到恢复和发展。1977年,对比国内同行业的先进水平,扩散炉又做了进一步的改进。炉体结构改为积木式,使整机既可以是整体式,也可以是分离式。经过这些改进,不仅提高了扩散炉的性能,而且大大方便了用户。1977年末,新型样机调试成功,定型为QK1—3。新型炉口径为直径80毫米,控温精度为±0.5℃/24小时,恒温区长度为600毫米/±0.5℃,处于国内先进水平。1978年底,产量60台,为历年之最。中共十一届三中全会以后,大口径扩散炉遂开始研制。1979～1980年,相继研制成功直径为100毫米和120毫米的大口径扩散炉。
　　为延长扩散炉的使用寿命,1980年8月,用硅炭管作为新的发热元件的L4514II型扩散炉通过省级鉴定,并投入生产。硅炭管扩散炉具有“两高”(控温精度高、使用温度高),“两长”(使用寿命长、恒温区长)的特点,在国内居领先地位,1982年,获山东省科委科研成果一等奖。
　　至1982年底,青岛生产的扩散炉口径有80毫米、90毫米、100毫米、120毫米等规格,炉体有整体式、分离式。扩散炉生产基本形成了系列化。
　　青岛无线电专用设备厂在产品形成系列化的条件下,努力提高产品性能和产品质量。1983年下半年,L4514II型扩散炉由原硅炭管炉改为无内炉管的扩散炉。这种扩散炉使用寿命长,温度高(1300℃,短时间可达1350℃),升降温度快,动态特性好,节约电力。1984年,在电子工业部第二次全国扩散炉质量检测中,有九项指标(控温精度、恒温稳定性、升温功率、升温时间、稳定时间、恒温功率、电网电压波动影响、定值重复性、推舟恢复时间)名列全国第一。168小时连续试验考核合格,不仅达到了部颁标准,有些指标还超过了美国、日本、英国三国产品的指标,获电子工业部和山东省优质产品奖。
　　青岛高温扩散炉的生产经过近20年的发展,产品质量和技术水平得到了大幅度的提高,产品行销全国21个省市的200多个单位。至1985年底,各种型号累计总产量已达852台。11月,新一代高温扩散炉——微机程控扩散炉在青岛无线电专用设备厂研制成功,这是青岛扩散炉生产发展的一个新的里程碑。

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第三节　真空镀膜机　平行缝焊机


　　真空镀膜机　1969年,青岛无线电专用设备厂采用成都708厂ZD—306型真空镀膜机的全套设计图纸和技术资料,试制出第一台“青巍”牌真空镀膜机。“青巍”牌真空镀膜机的真空蒸发容积为直径306×450毫米,蒸发室的极限真空度5×10?-6?毫米汞柱,镀制最大工作物为120毫米,型号为ZD—306。1970年,投入批量生产。至1972年底,总计生产192台后停产。
　　平行缝焊机　1980年,青岛无线电专用设备厂在北京半导体器件二厂的大力支持下,开始试制平行缝焊机。1981年6月,试制出第一台样机,定型为PFJ—2。其封装漏气速率≤1×10?-7?大气压毫升/秒,一次合格率可达90%以上。8月,通过市级设计定型鉴定,并投入生产。同年,获青岛市优秀新产品奖。1983年5月,该机参加全国首届电子设备展销会,受到了国内外参观者的好评。同年,获国家经委优秀新产品奖。
　　为了适应生产大规模集成电路的需要,青岛无线电专用设备厂于1985年试制出大型平行缝焊机,可用于64K陶瓷金属化管壳的大规模集成电路的焊接。
　　至1986年,平行缝焊机历年累计生产42台。

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第四节　真空烧结炉


　　1969年,青岛无线电专用设备厂采用上海无线电设备厂的全套图纸,当年试制成功并生产了17台圆形炉体的真空烧结炉。此为青岛市最早生产的真空烧结炉。
　　1972年,青岛无线电专用设备厂自行设计了一种工作温度为900℃,最高可达1100℃,恒温区长度为150毫米/±3℃、200毫米/±5℃,单点精度为±2℃,工作室真空度为10?-4?～10?-5?毫米汞柱的真空烧结炉。这种真空烧结炉采用了可控硅和丝杠推进的加料装置,定型为L46750/QWZ。
　　1980年,青岛无线电专用设备厂又重新设计和试制了一种卧式真空烧结炉,炉管口径80毫米,工作温度400～1200℃,控制精度≤±1℃/24小时,恒温区≥200毫米/±1℃,冷态真空度为5×10?-5?毫米汞柱,定型为L4611II—C/QWZ。1984年,在原设计的基础上,采用高温扩散炉的全套控温和加热系统作为新型烧结炉的加热控制系统,并改进了炉丝结构,研制成功立式真空烧结炉,定型为L4811II,其工作温度为400～1050℃,冷态真空度≤5×10?-5?毫米汞柱,真空室直径100×500毫米。1986年,青岛无线电专用设备厂又研制了真空室直径120×500毫米的新品种。
　　至1986年底,青巍牌真空烧结炉历年累计生产239台,行销全国18个省市的120个厂家,成为国内半导体器件生产厂的必备设备。

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第五节　坑式真空炉　单晶炉


　　坑式真空炉　1971年,四机部将成都708厂生产的L6413II型坑式真空炉,炉膛为直径300×600毫米,工作温度最高1300℃,真空度5×10?-5?毫米汞柱,安排给青岛无线电专用设备厂生产。当年试制成功。之后,连续生产了9年,至1979年停产,累计生产69台。不仅满足了国内用户的需要,并于1975年、1976年分别援助了朝鲜民主主义人民共和国和阿尔巴尼亚人民共和国各1台。
　　单晶炉　60年代末,在“大办电子工业”的方针指导下,电子产品迅速兴起,单晶硅成为紧缺材料。1969年底,青岛无线电专用设备厂派员赴上海松江901厂学习。经过半年的时间,终于试制成功两台样机。经青岛半导体实验所试机,成功地拉出了合格的单晶硅,1970年6月18日,《青岛日报》第一版报道了“青岛无线电专用设备厂艰苦奋战制成中国式单晶炉”的消息。同年,投入批量生产。当年生产10台,翌年,又生产10台后停产。

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第六节　热稳态压力机　加压检漏台


　　热稳态压力机　1982年,为适应国家电子半导体器件测试的需要,青岛无线电专用设备厂与西安整流器研究所签订了《研制恒压装置(即热稳态压力机)的技术协议书》,由西安整流器研究所负责提出该机的技术指标、压力自动控制、温度测量与自动控制的设计方案,青岛无线电专用设备厂负责绘制整机的结构图、液压原理图、电器控制原理图。同年底,双方设计完毕并通过审定。1983年7月,样机研制成功,定型为HY—4000。12月22日,通过部级设计定型鉴定。1984年投产,并分别获青岛市科技成果二等奖和电子工业部科技成果二等奖。至1986年底,热稳态压力机已累计生产32台,为中国电子半导体器件的测试提供了有效的手段。
　　加压检漏台　1981年,青岛无线电专用设备厂在考察了北京半导体器件二厂自制的加压检漏台和美国进口的同类产品后,开始了加压检漏台的试制工作。1982年春。样机试制成功,定型为Y80—1/RZQ。7月28日通过省级定型鉴定。同年获青岛市科技成果三等奖。
　　至1986年底,加压检漏台累计生产55台。

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第七节　塑料注射成型机


　　塑料注射成型机是青岛无线电专用设备厂根据电子仪表行业生产小型塑料成型件的需要而开发的产品。1973年,青岛无线电专用设备厂从上海塑料机械厂购买了XS—Z—30型卧式注塑机图纸及使用说明,开始了设计研制工作。1975年,试生产了14台。1977年,青岛无线电专用设备厂开始研制30克高压全自动立式注塑机。1978年上半年,完成了施工图纸的设计,下半年开始试制工作。1979年,完成样机的试制任务,定型为C4730—1。1980年8月7日,通过了省级鉴定。1981年,青岛无线电专用设备厂对C4703—1型注塑机作了较大的改进,并于当年试制出样机,定型为C4730—II。1982年8月28日通过省级鉴定。1983年,获山东省科技成果三等奖和国家经委优秀新产品金龙奖,处于国内先进水平。产量从1981～1985年的年产5台上升到1986年的年产20台。至1986年底,历年累计生产3个型号注塑机262台。

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第一节　石　　墨


　　1970年,四机部和山东省国防工办决定在石墨资源丰富的平度县筹建石墨生产定点企业,直接投资283万元,兴建了山东省平度碳素厂。同年11月,山东省国防工办下达给该厂试制生产人造高纯石墨的任务。该厂一面抓土建工程,一面派员到上海碳素厂进行了为期半年的技术培训,并从上海带回生产高纯石墨的全套技术资料及模具、设备、仪器等,积极进行试制生产前的准备工作。
　　1972年1月,山东省平度碳素厂更名为山东省平度无线电石墨制品厂。10月,第一炉高纯石墨坯料试制成功,含碳量达到99.9%。经上海碳素厂中心实验室鉴定,各项技术指标达到上海碳素厂出厂标准。该年,该厂生产的高纯石墨材料有400×140×100、210×130×70和直径250×150、直径190×150、直径160×150等五个规格开始批量投入生产,当年生产了9.2吨。
　　为扩大石墨产品的品种,平度无线电石墨制品厂于1975年建成450平方米的石墨制品加工车间,增添各种通用石墨制品设备50台,从生产单一的高纯石墨发展到生产各种不同规格的石墨模具。1977年,该厂再次更名为山东省平度电子材料厂。同年,采用化学气相沉积工艺生产的新型碳素材料——热解石墨栅极毛坯试制成功。1978年,又试制成功热解石墨涂层硅外延基座,开拓了热解石墨应用新领域。1979年,市场对高纯石墨的需求量逐步减少,以至滞销。1984年高纯石墨停止了生产。
　　为充分利用平度地区丰富的石墨矿产资源,增加适销对路产品,1980年,平度电子材料厂开始研制生产天然鳞片石墨。12月,建成年产天然鳞片石墨1500吨的精选车间,生产以出口创汇为主的混合目产品。是年,在中国科学院金属研究所、冶金工业部有色金属总院广东测试研究所及沈阳分析仪器厂等单位的帮助下,还试制出热解涂层石墨管。1982年,平度电子材料厂新建生产厂房474平方米,增添了筛分设备,使年产量达到3000吨。鳞片石墨从混合目单一品种发展到生产含固定碳80%～93%的中碳和含固定碳94%～99%的高碳2个系列70多个规格的分目产品,并逐年增至100多种规格。是年,在上海有色金属研究所的帮助下,还试制出热解石墨涂层连铸结晶器。
　　1983年,平度电子材料厂与湖南大学联合,在天然鳞片石墨的基础上,研制出自润滑性良好,适宜制造密封材料的柔性石墨,各项指标均达到国外同类产品标准。之后,500～1000毫米×300～500毫米×0.2～0.7毫米的柔性石墨板材和宽140～400毫米×厚0.2～0.7毫米无限长带材及内径10～75毫米×外径16～103毫米×厚度4～12毫米的柔性石墨密封件等系列产品相继问世。柔性石墨的研制成功,为解决石油、化工、机械等行业跑、冒、滴、漏、腐等老大难问题,开辟了新的途径。1985年7月,平度电子材料厂再度更名为青岛电子材料厂,并恢复了人造高纯石墨生产,当年生产了60吨。
　　1970～1986年,青岛电子材料厂累计生产人造高纯石墨420吨,天然鳞片石墨33593吨,热解石墨模具100多万件(套)。产品远销美国、日本、联邦德国、加拿大、香港等36个国家和地区,行销国内20多个省市的300多个厂家和科研单位。仅出口一项,为国家累计创汇1400万美元。在诸多的石墨产品中,黑鲤牌中碳系列LZ50—89和LZ80—90两个规格于1984年分别获国家建材总局和山东省优质产品奖。同年,LZ50—90亦获山东省优质产品奖。1985年,在全国石墨行业评比中,鳞片石墨中碳系列产品获第一名,被国家经委授予银质奖。

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第二节　铌酸锂晶体


　　1982年,胶南县晶体元件厂开始研制铌酸锂晶体。翌年,与上海硅酸盐研究所签订了为胶南县晶体元件厂代培人员并给予技术指导的协议书。在该所的支持下,当年底试制出样品。1984年10月,通过省级鉴定,随即投入批量生产,当年生产35.1公斤。同年,胶南县晶体元件厂更名为青岛晶体元件厂(又名青岛宝石轴承厂)。在生产过程中,青岛晶体元件厂针对产品易于炸裂、出现云层和年轮状条纹、直径及等径度不好等问题进行了改进。调整了温度梯度,完善了拉晶工艺,采取了增大极化强度、对块料进行焙烧等措施,使产品产量大幅度增长,产品质量明显提高(其3M点群熔点1250℃,居里点1210℃,密度4.67克/立方厘米,莫式硬度为5,具有良好的压电、铁电、电光性能,其机电耦合系数K?51?=0.025,KT=0.17,晶质因素QM≥10?5)。1985年,产量为126.6公斤,1986年,产量达133公斤。
　　青岛生产的铌酸锂晶体,除保证生产厂家的配套需要外,还畅销湖南、江苏等省市。

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第二章　电子材料

第三节　单　　晶


　　锗单晶　青岛生产过N型和P型锗单晶,共有22个牌号。
　　1966年7月,胶县无线电材料厂开始建厂(1972年更名为胶县半导体器件四厂)。同时派人去济南半导体研究所学习,开始试制锗单晶。1969年2月,锗单晶试制成功,鉴定合格后,随即投入批量生产。当年生产41.96公斤。1971年增添专用设备7台。次年,生产锗单晶达201.50公斤,是历史最高产量。由于锗晶体管在性能方面劣于硅晶体管,锗晶体管市场逐年萎缩,锗单晶产量逐年减少。1979年底,年产量仅为17.44公斤。1980年,锗单晶停止生产。
　　锗单晶前后共生产了13年,累计产量1021.38公斤,产品除保证山东省晶体管制造业外,还销往国内其他省市、自治区。
　　硅单晶　1965年底,青岛半导体实验所派员去淄博市八三厂学习N型硅单晶的拉制技术。1966年,在仅有一台小型单晶炉和容量几十克坩埚的生产条件下,开始了硅单晶的试制。由于设备简陋,至1969年,只试制出少量电阻率为几十欧姆·厘米的N型硅单晶。
　　1970年,青岛市科委组织了全市硅单晶生产会战。会战中青岛电器元件厂自制了三台直拉式单晶炉,也开始了硅单晶的试制。同时,青岛半导体实验所添置了四台大型单晶炉,坩埚容量亦增至300克。当年,试制出高低阻N型和P型硅单晶。其参数范围为:位错——从无位错到103个/平方厘米,直径40毫米。其中,N型单晶电阻率为10～6×10?5?欧姆·厘米,P型单晶电阻率为10欧姆·厘米。
　　1974年,青岛半导体实验所在历年累计生产40公斤后停产。1978年,青岛电器元件厂在历年累计生产300公斤后也停止生产。
　　多晶硅　1966年5月,青岛化工厂开始研制多晶硅。1968年7月,样品研制成功。当月,冶金部组织产品鉴定,认为质量优良。化学工业部来贺电,并将青岛化工厂定为多晶硅定点生产厂。
　　1969年底,青岛化工厂将原年产0.5吨的小型生产装置,扩建为年产6吨的大型生产装置。1970年10月,在历年累计生产1000公斤后,多晶硅停产。